電子束蒸發鍍膜機 E-Beam
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電子束蒸發鍍膜機 E-Beam

電子束蒸發鍍膜 E-Beam
上海伯東代理 E-Beam 電子束蒸發鍍膜機 ( 電子蒸鍍 ), 最大真空度可達 5E-10 torr, 提供客制化服務.

電子束蒸發鍍膜機

 推薦設備型號: EBS-150
 標準的設計, 左邊 load lock 腔體, 包含氧化和蝕刻過程; 
 右邊沉積腔內含一個電子束, 適用于約瑟夫森結,
 特性:
 真空度 5E-8 torr
 最大 8inch 樣品
 基本可傾斜 / 旋轉
 可選 IBAD
 全自動
 腔室水冷

 

 型號 EBS-150 UHV
 特性:

 真空度 5E-10 torr
 最大 6inch 樣品
 基本可傾斜 / 旋轉
 可選 IBAD
 全自動
 腔室水冷

 

電子束蒸發

 型號 EBS-300 Dual
 特性:

 真空度 5E-7 torr
 行星機械手
 雙 E-gun
 全自動加工
 軟件控制


E-Beam 電子束蒸發適用于
Lift-off 工藝
HMET, PHMET 晶體管
Ohmic and Schottky contacts on GaN 氮化鎵基片歐姆和肖特基接觸
IR waveguides 紅外波導
Thermal barriers 熱障
Magnetic materials for microwave applications 磁性材料微波應用
MEMS 封裝
超導隧道結


上海伯東代理電子束蒸鍍設備,專精于金屬及氧化物薄膜的制備, 可用于超導量子實驗室制備超導結 ( 量子比特和約瑟夫森結 ) 和量子器件, 可以制備大面積, 高穩定性和可重復性超導結. 電子束蒸發設備提供客制化服務, 滿足各類不同真空系統整合需求!

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